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深國安SGA-501NOX氮氧化物檢測儀專為半導體光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝的廢氣管控設計,是兼顧人員安全、工藝合規與環保達標三重需求的核心監測裝備。設備以≤±3% F.S. 的高精度檢測能力為核心,融合多氣體同步監測與無線云端管理功能,精準破解半導體廢氣低濃度、高干擾的監測痛點。

SGA-501NOX氮氧化物檢測儀采用進口傳感技術,針對性捕捉 NO、NO?等氮氧化物組分,檢測下限低至 0.01ppm,完全滿足半導體行業 NOX≤0.01ppm 的嚴苛監測標準。支持 1-6種氣體自定義組合檢測,可靈活搭配半導體工藝常見的氨氣、磷化氫、硫化氫等有毒氣體及 VOCs 監測模塊,實現 “一儀多能”,適配潔凈車間、特氣管道、廢氣處理端等多場景監測需求。

SGA-501NOX氮氧化物檢測儀設備搭載 4G/NB-IoT無線傳輸模塊,檢測數據實時同步至云端管理平臺,支持電腦、手機 APP 遠程查看濃度曲線、報警記錄與設備狀態,無需現場值守即可實現全流程監控。配備 3.5 寸高清彩屏,直觀顯示多組分濃度數據,內置聲光振動三重報警功能,可自定義兩級報警閾值,超標時即時觸發預警并聯動排風、切斷閥系統,從源頭阻斷風險。

SGA-501NOX氮氧化物檢測儀機身采用 316L 不銹鋼材質設計,防護等級達IP67,防爆等級CT6,耐受- 40℃-70℃寬溫與高濕環境,適配半導體工藝腔室周邊的嚴苛工況。支持 4-20mA/RS485 信號對接 MES 系統,數據自動存儲10萬條,滿足環保合規審計要求,是半導體企業實現廢氣精細化管控的可靠選擇。
