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近日，深國安批量出貨上海客戶半導體項目定制70套可燃氣體檢測儀，將全面服務于芯片制造全流程的可燃氣體安全管控，為光刻、蝕刻、薄膜沉積等關鍵工藝筑牢安全防線。

項目背景：

半導體生產過程涉及到眾多復雜的工藝環節，其中不乏大量易燃易爆氣體的使用。例如，在芯片制造的光刻、刻蝕、沉積等工藝中，氫氣、硅烷、磷烷等氣體被廣泛應用。這些氣體在特定的濃度和條件下，一旦發生泄漏，與空氣混合形成爆炸性混合物，遇到火源或靜電等能量激發，就可能引發劇烈的爆炸事故，不僅會造成設備損壞、生產中斷，還會嚴重威脅到現場工作人員的生命安全，給企業帶來巨大的經濟損失和不良的社會影響。

在此背景下，為了進一步提升生產安全性，保障生產的穩定運行，該客戶決定對其生產車間的可燃氣體監測系統進行升級改造。經過深入的市場調研和嚴格的產品篩選，客戶最終選擇了深國安作為合作伙伴，定制70套SGA-500專門適用于半導體生產環境的可燃氣體檢測儀。

此次交付SGA-500可燃氣體檢測儀設備基于客戶項目需求定制，核心適配半導體行業嚴苛標準：其一，檢測性能聚焦半導體工藝常見可燃氣體(如氫氣、甲烷、異丙醇等)，采用催化燃燒 + 紅外雙傳感技術，檢測范圍 0-100% LEL，精度≤±3% F.S.，響應時間≤10秒，可捕捉 ppb 級微量泄漏，完全滿足半導體車間對可燃氣體監測的高精度要求;其二，潔凈與防爆性能達標，SGA-500可燃氣體檢測儀機身采用 316L 不銹鋼一體成型，表面粗糙度 Ra≤0.8μm，符合 Class 100 潔凈標準，無顆粒脫落風險，防爆等級達CT6，適配半導體特氣間、工藝腔室周邊等 1 區危險環境;其三，功能模塊按需定制，45套設備搭載 4G/NB-IoT 無線傳輸模塊，可實時對接客戶 MES 系統與深國安云端管理平臺，支持遠程查看濃度曲線、報警聯動;25套檢測儀配置本地聲光振動三重報警(90dB 聲光 + 500Hz 振動)，適配車間環境現場預警。

作為半導體氣體檢測領域的深耕企業，深國安已累計為中芯國際、華虹半導體等50余家半導體企業提供定制化解決方案，此次 70 套批量交付再次驗證其在 “定制化設計 + 規模化交付 + 行業場景適配” 的綜合實力，為半導體行業安全裝備采購提供可靠選擇。